每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問：請問公司的自行研發(fā)的面向半導(dǎo)體前道微觀缺陷檢測裝備是納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備還是屬于有圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備？

天準(zhǔn)科技（688003.SH）5月10日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司參股的蘇州矽行半導(dǎo)體有限公司，正在開發(fā)有圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備，目前已經(jīng)形成原型樣機(jī)，進(jìn)入內(nèi)部測試階段。

(記者 畢陸名)

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