截至2025年6月20日11:04，中證半導體材料設備主題指數（931743）強勢上漲1.33%，成分股中光刻膠板塊大漲，晶瑞電材上漲13.95%，三佳科技上漲5.39%，上海新陽上漲4.36%，富創精密，江化微等個股跟漲。半導體材料ETF（562590）上漲1.05%，沖擊3連漲。

長江證券表示，當前，半導體設備與材料的國產化率仍然處于較低水平，2024年半導體設備上市公司營收占中國大陸半導體設備銷售額（不含進口光刻機）的比重為22.4%，材料則為30.7%，后續隨著研發的大力投入，國產替代仍將穩步推進。展望后續行情，估值進一步下行的可能性有限，且隨著本土晶圓制造綜合能力的不斷提升，業績的兌現和訂單的落地有望助力半導體設備和材料板塊預期向好發展。

在設備領域，以北方華創為代表的平臺型企業增長穩健，且規模上在國內市場已經具備顯著的領先優勢，同時能夠以并購整合的形式快速補強短板，同業競爭已經不再是其成長的核心阻力，需重點關注其在各條產品線上對海外設備龍頭的持續替代；以中科飛測、芯源微等為代表的細分領域龍頭，雖然現階段財務表現會呈現出一定的波動，但其市場空間與市值的比值仍具吸引力，核心技術與產品突破后會帶來較強的成長性，同樣值得重點關注。

在材料領域，現階段以安集科技、興福電子為代表的部分優質細分領域龍頭已經成功實現對國內市場的產品替代，后續有望進一步打開海外市場，突破成長天花板；而以鼎龍股份為代表的稀缺平臺型龍頭公司，則一方面在拓展優勢產品的客戶范圍，另一方面也在加速新產品的研發，成長空間更具吸引力。

半導體材料ETF（562590）緊密跟蹤中證半導體材料設備主題指數，該指數精選40只業務深度覆蓋半導體材料與半導體設備領域的上市公司證券作為樣本。指數成分股中匯聚了多家在國產替代進程中表現突出的龍頭企業——例如在刻蝕設備領域實現技術突破的北方華創、中微公司，以及在硅片、電子化學品等關鍵材料環節打破海外壟斷的滬硅產業、南大光電等，樣本股的篩選既聚焦行業核心賽道，充分體現了半導體產業鏈自主化升級的發展趨勢，反映半導體材料和設備上市公司證券的整體表現。

數據顯示，截至2025年5月30日，中證半導體材料設備主題指數前十大權重股分別為北方華創、中微公司、滬硅產業、南大光電、華海清科、拓荊科技、長川科技、鼎龍股份、TCL科技、安集科技，前十大權重股合計占比61.33%。

半導體材料ETF（562590），場外聯接（華夏中證半導體材料設備主題ETF發起式聯接A：020356；華夏中證半導體材料設備主題ETF發起式聯接C：020357）。